快速退火爐RTP600專(zhuān)為半導(dǎo)體高溫處理設(shè)計(jì)，支持500℃~1000℃范圍內(nèi)的氧化/擴(kuò)散/快速退火工藝，采用雙層21×1kW高功率燈管，實(shí)現(xiàn)150℃/s極速升溫控制，通過(guò)水冷鋁質(zhì)外殼、石英內(nèi)腔確保溫度均勻性，兼容2~6英寸晶圓片，結(jié)合精密氣體控制提供高效解決方案。

參考價(jià)格：
廠(chǎng)商性質(zhì)：生產(chǎn)廠(chǎng)家
更新時(shí)間：2025-08-26
訪(fǎng) 問(wèn) 量：3589

產(chǎn)品咨詢(xún)聯(lián)系我們

產(chǎn)品分類(lèi)CLASSIFICATION

相關(guān)文章ARTICLES

查看全部

詳細(xì)介紹

與溫控技術(shù)、原位力學(xué)技術(shù)等相關(guān)的產(chǎn)品，如于晶圓加熱系統(tǒng)、快速退火爐、高低溫試驗(yàn)箱等，可為客戶(hù)提供個(gè)性化定制。

果果儀器RTP600快速退火爐專(zhuān)為半導(dǎo)體高溫處理設(shè)計(jì)，支持500℃~1000℃范圍內(nèi)的氧化/擴(kuò)散/快速退火工藝，采用雙層21×1kW高功率燈管，實(shí)現(xiàn)150℃/s極速升溫控制，通過(guò)水冷鋁質(zhì)外殼、石英內(nèi)腔確保溫度均勻性，兼容2~6英寸晶圓片，結(jié)合精密氣體控制提供高效解決方案。

快速退火爐RTP600特點(diǎn)：

• 控溫速率：最大升溫速率：150℃/s

• 載樣臺(tái)：2~6英寸圓形襯底石英載片臺(tái)

• 腔室可升級(jí)真空

• 高精度控溫

• 專(zhuān)業(yè)溫控軟件
• 支持定制

快速退火爐RTP600參數(shù)：

型號(hào)	RTP600
腔體	石英腔體
溫控范圍	上下雙層加熱，最高溫度1000℃
控溫速率	最大升溫速率：150℃/s
載樣臺(tái)	2~6英寸圓形襯底石英載片臺(tái)
腔室	真空/氣氛
功率	21kW
外形尺寸	534mm608mm272mm
凈重	42kg